石英管式微波等離子體發(fā)生裝置新產(chǎn)品供各大學(xué)各系使用和供各科研部門(mén)使用石英管式微波等離子體裝置是我廠專(zhuān)門(mén)為大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的小型化產(chǎn)品，可用于薄膜材料的制備和等離子體物理等方面的研究工作，并且特別適宜于大中專(zhuān)學(xué)校的材料、化學(xué)工程與工藝、物理等專(zhuān)業(yè)的學(xué)生實(shí)驗(yàn)。該裝置利用微波能激勵(lì)稀薄氣體放電在石英管中產(chǎn)生穩(wěn)態(tài)等離子體，通過(guò)通入不同的工作氣體，可進(jìn)行功能薄膜材料的制備、化學(xué)合成、表面刻蝕、等離子體診斷等多方面的實(shí)驗(yàn)。1主要配置1.2.45GHz，0~500W微波功率連續(xù)可調(diào)，可滿足不同實(shí)驗(yàn)的要求；2.ф50mm的石英管真空室，帶有一個(gè)觀察窗和一個(gè)診斷窗口，保證各種實(shí)驗(yàn)方便進(jìn)行；3.石英管采用水冷卻，可保證裝置在高功率條件下安全運(yùn)行；4.配置了3路氣體管路，氣體流量控制方便；真空測(cè)量系統(tǒng)及控制閥門(mén)可保證真空室所需的真空環(huán)境。2典型實(shí)驗(yàn)1.等離子體化學(xué)氣相沉積A（氣）+B（氣） C（固）+D（氣）反應(yīng)氣體A、B被激發(fā)為等離子體狀態(tài)，其活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)生成所需要的固態(tài)物沉積在基片上，可廣泛用于薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜、氮化碳薄膜、碳納米材料等。2.等離子體表面刻蝕A（氣）+B（固） C（氣）反應(yīng)氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面原子發(fā)生反應(yīng)生成氣態(tài)物C，可用于集成電路的刻蝕實(shí)驗(yàn)。3.等離子體催化反應(yīng)利用等離子體中豐富的活性成分，如紫外和可見(jiàn)光子、電子、離子、自由基；高反應(yīng)性的中性成分，如活性原子，受激原子態(tài)，從而引發(fā)在常規(guī)化學(xué)反應(yīng)中不能或很難實(shí)現(xiàn)的化學(xué)反應(yīng)。4.等離子體表面改性A（氣）+B（固） C（固）反應(yīng)氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面發(fā)生反應(yīng)生成新的化合物從而達(dá)到改變B物質(zhì)表面性質(zhì)的目的?？蓮V泛用于高分子材料、金屬材料、生物醫(yī)用材料的表面改性實(shí)驗(yàn)。