勻膠機(jī) (英文名：Spin Coater) ，別名：甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等，主要用于液體、膠體在材料表面薄膜的形成.適用于半導(dǎo)體、微電子、新型材料（玻璃、硅片、ITO導(dǎo)電玻璃、硅、陶瓷、載玻片、液晶片、砷化鎵、華陽板等）的制版及表面涂覆、薄膜制備等工藝，應(yīng)用于大專院校、科研機(jī)構(gòu)及相關(guān)行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)等單位作教學(xué)、科研、生產(chǎn)之用，為微電子、光電子及太陽能電池研制領(lǐng)域中不可缺少的關(guān)鍵設(shè)備之一. 美國原裝進(jìn)口勻膠機(jī)WPN-IM-572型號簡述：轉(zhuǎn)速更高，精度更精確，性能更強(qiáng). 1.高精度多程序控制器:*可設(shè)定存儲7個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程；*每個涂敷工藝過程可以設(shè)置25步不同的速度狀態(tài).* 液晶顯示屏可以實(shí)時(shí)顯示：（1)第N個涂敷工藝過程 （2)所處工作段（3)真空吸片狀態(tài)（4)設(shè)置時(shí)間;及實(shí)時(shí)運(yùn)行時(shí)間 （5)設(shè)置速度;及實(shí)時(shí)速度狀態(tài)* 中英文兩套操作系統(tǒng)以供選擇2.真空吸片系統(tǒng)更安全:* 安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實(shí)時(shí)檢測系統(tǒng)真空度；* 必須在安全的真空度下,電機(jī)啟動,運(yùn)行.保障不飛片.3.變頻調(diào)速電機(jī),轉(zhuǎn)速精度更高: * 300 - 10000r/min ； 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性： 0.1 % ； 最高轉(zhuǎn)速10000RPM. Item Specification Power 220V/ 50Hz or 110v /50Hz Speed range 300 - 10000 r/min Speed stability 0.1 % Glue uniformity time 1 -- 9999（S） Application 1- 204mm silicon and other materials Size 260mm x 350mm x 260 mm Vacuum pump Vacuum pump exhaust rate 60 litre per minute 技術(shù)參數(shù)：1、單相交流電源：220V/ 50Hz 或110v /50Hz 電機(jī)功率：120W 2、轉(zhuǎn)數(shù)范圍：300 - 10000 r/min 時(shí)間設(shè)定：1--9999 秒 3、旋轉(zhuǎn)真空吸盤直徑:4英寸（102mm標(biāo)準(zhǔn)配置),可涂覆基片范圍: 1-204mm.4、標(biāo)準(zhǔn)包裝：尺寸： 260mm寬 x 350mm深 x 260 mm高 配件：1、60L/min無縫隙專業(yè)鏈接真空泵 2、特殊真空吸盤