DH2010 真空實驗儀實驗儀是一個真空實驗平臺,能夠很直觀反映真空獲得的全過程.由真空獲得部分、真空鍍膜機構(gòu)和電控及儀表等部分組成,結(jié)構(gòu)合理,運行安全可靠,適合于對學(xué)生開展真空實驗教學(xué).本產(chǎn)品已獲得國家實用新型專利:200720107661.X. 可開設(shè)的實驗:1、真空的獲得與測量;2、蒸發(fā)法薄膜制備;主要技術(shù)特點:◆設(shè)備的真空反應(yīng)室、油擴散泵、真空管路部件全透明;◆電氣控制有安全防護,防止誤操作對操作人員和設(shè)備造成的損傷;◆管路采用不銹鋼、真空橡膠管結(jié)合,閥門為電控雙向截止閥,真空室內(nèi)有烘烤除氣設(shè)備;◆一機多用的功能,針對高校開展綜合性、設(shè)計性和開放性實驗的要求,預(yù)留有大空間的真空室,在配置一些組件后,就能方便開設(shè)其他擴展實驗項目主要技術(shù)參數(shù):1、 230mm 255mm硬質(zhì)玻璃真空室;2、采用機械泵、四級玻璃質(zhì)油擴散泵兩級真空系統(tǒng),擴散泵油量125～140ml,帶水冷;3、真空度:開機60分鐘后可達6 10-3Pa,極限真空度:9.6 10-4Pa;恢復(fù)真空時間＜40分鐘 ;4、采用一對無氧銅電極蒸發(fā)電極,電極間距70mm,可選用鎢絲或鉬舟作蒸發(fā)源,蒸發(fā)電流調(diào)節(jié)范圍:0～150A;5、襯底可加熱.襯底加熱溫度范圍:室溫～200℃;6、工作電壓:AC220V 5%,50Hz,整機功率3.5KW;7、工作環(huán)境要求:溫度低于30℃,濕度 70%;冷卻水溫度22℃ 3℃,水循環(huán)用戶自備.