URE-2000系列光刻機 型號：35 一．技術(shù)特征 非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動型）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）采用專利技術(shù) 積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實現(xiàn)均勻照明；1、采用三爪和球氣浮同時找平，無論大片、小片調(diào)平精度均高； 2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能； 3、自動分離對準間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達500 m； 4、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程，并提供USB輸出；既滿足高精度對準，又可用于檢測曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲； 5、電機機構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好； 7、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ，溫度小于30度） 8、對準完成，自動消除曝光間隙，無橫向漂移且可通過監(jiān)視器觀察； 9、快門可以單獨開啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動倒計時曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999s） 10、采用350W進口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度； 11、汞燈具有高亮度和 待機 兩種方式，即曝光時采用高亮度照明，而不曝光時采用低亮度的 待機 ，從而延長了汞燈壽命。 12、設(shè)備外形美觀精制，性能非?？煽?；13、上下片、版十分方便，自動化程度很高，操作簡便。 1、曝光面積：100mm 100mm（可升級6英寸） 2、分辨力：0.8-1 m（膠厚2mm的正膠） 3、對準精度：1 m4、掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸6、樣片尺寸直徑f15mm--f100mm(可適應(yīng)非標準片或碎片) 7、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)8、照明均勻性： 3-4%（f100mm范圍）9、掩模相對于樣片運動行程： X: 5mm; Y: 5mm; q: 6度10、汞燈功率：350W（直流） 11、曝光波長：365nm12、曝光能量密度：15mW/cm (420nm以上波長小于0.1mW/cm )13、曝光方式：定時（到計時方式0.1s 999s）二．技術(shù)參數(shù)