Z系列真空測量儀是智能雙通道低真空測量儀 ZO-2是雙通道熱偶真空測量儀。真空測量范圍100kPa-0.1Pa ZB-1薄膜規(guī)-熱偶規(guī)復合真空測量儀在ZO-2熱偶真空測量儀基礎上增加了一路薄膜規(guī)管，用于測量100kPa-0.1Pa之間的真空度。本儀器可同時測量兩路真空度，其中真空室1由熱偶規(guī)管1和薄膜規(guī)管分段復合測量。 薄膜規(guī)在100kPa-100Pa間測量精度很高，但測量數百帕真空度時受溫度影響很大。熱偶規(guī)管在100kPa-100Pa間很差，但測量數百帕－1Pa真空度時測量精度j較好，受溫度影響不大。ZB-1綜合了上述兩種真空規(guī)管的長處，可以在100kPa-0.1Pa間均有較好的測量精度。 儀器在較高的真空度條件下(P<10Pa),可以根據熱偶規(guī)管測量的真空度動態(tài)校準薄膜規(guī)的零點。補償它的溫飄及零飄。由此，薄膜規(guī)可獲得更好的使用性能。 由MCY-1介紹可知，壓阻規(guī)粗真空性能很好，ZY-1壓阻規(guī)－熱偶規(guī)復合測量儀用壓阻規(guī)代替薄膜規(guī)，其他性能同ZB-1.