INFICON的HPG400型高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)將高壓強(qiáng)熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個小型、輕便與經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中，測量壓強(qiáng)從2*10-6至1000毫巴(1.5*10-6～750Torr)。HPG400提供高度的重復(fù)性和再現(xiàn)性壓強(qiáng)測量，用于精確的濺射過程的壓強(qiáng)控制。典型應(yīng)用：1、半導(dǎo)體制造中的濺射工藝應(yīng)用，電子學(xué)的媒體工業(yè)2、工業(yè)鍍膜3、在低至高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制