測(cè)量范圍：1.0 105～1.0 10-1（Pa）有效范圍：5.0 104～5.0 10-1（Pa） 參考范圍：1.0 105～5.0 104（Pa）及5.0 10-1～1.0 10-1（Pa）壓強(qiáng)控制范圍：5.0 104～5.0 10-1（Pa）壓強(qiáng)穩(wěn)定度： 3%調(diào)節(jié)閥：TJF-1壓強(qiáng)控制方式：PID壓強(qiáng)控制響應(yīng)時(shí)間： 2S 配接規(guī)管：PSG500/DN16KF/INFICON（可配轉(zhuǎn)接）測(cè)量路數(shù)：1路顯示路數(shù)：1個(gè)窗口顯示方式：五位LED數(shù)字顯示，采用科學(xué)計(jì)數(shù)法，例：1.2E－1，表示為1.2 10-1Pa觸點(diǎn)控制路數(shù)：2組（要拓展請(qǐng)電話咨詢我公司）觸點(diǎn)控制范圍：1.0 105～1.0 10-1（Pa）/建議在有效范圍內(nèi)設(shè)置觸點(diǎn)控制方式：點(diǎn)控或區(qū)域控制/帶掉電記憶觸點(diǎn)控制點(diǎn)負(fù)載：AC220V/3A；DC28V/10A 模擬輸出：0-5V/4-20mA(用戶選配)通訊接口：RS-232/RS-485(用戶選配)調(diào)節(jié)閥外控：PLC控制(用戶選配)工作電源：AC/85～245V/50～60Hz/15W重量：約1Kg機(jī)箱尺寸：96 96 160（E型）/（寬 高 深）/(mm)安裝開口尺寸：92 92（E型）/（寬 高）/(mm)注意事項(xiàng)：調(diào)節(jié)閥和測(cè)量的規(guī)管盡量靠近安裝，以保證良好的真空控制穩(wěn)定度；氣源壓力最好小于2個(gè)大氣壓，以保證調(diào)節(jié)閥的長(zhǎng)壽命工作。