INFICON的Pirani標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)PSG500和PSG502-S代表封裝在堅(jiān)固耐用小型管殼內(nèi)的最先進(jìn)的Pirani技術(shù).溫度補(bǔ)償提供快速與最穩(wěn)定的真空測量并消除了對大氣壓強(qiáng)反應(yīng)慢的問題.堅(jiān)固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導(dǎo)體系統(tǒng),以及常規(guī)用途如前級真空管道中.特點(diǎn)： 占空間小 任何方位安裝 不銹鋼測量單元的金屬密封饋入件 最佳化的溫度補(bǔ)償 易于集成的對數(shù)訊號輸出 至10巴絕對壓力的高過壓能力，用螺紋連接件 烘烤型在法蘭處可達(dá)到250 C 易于更換的傳感單元 應(yīng)用： 控制高真空電離真空計(jì) 前級真空壓強(qiáng)監(jiān)測 真空系統(tǒng)中的安全電路 在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測量與控制型號 燈絲PSG500 鎢絲PSG500-S 鎢絲PSG502-S 鎳絲測量原理 熱導(dǎo)（Pirani）測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮?dú)猓?毫巴 5x10-4至1000精度(氮?dú)? 1x10-3 100毫巴 %讀值 15% 5x10-4 1x10-3毫巴 %讀值 50% 100...1000毫巴 %讀值 50%分辨率 %讀值 1%再現(xiàn)率(空氣) 1x10-3 100毫巴 %讀值 2%安裝方位 任意設(shè)點(diǎn) 無 范圍 毫巴 滯后 %讀值 繼電器觸點(diǎn) 伏DC/安DC 開關(guān)時間 毫秒 2 2x10-3 500 10%低閾值 30/0.5阻性 20溫度工作(環(huán)境) C+5to+60貯存 C-20to+65法蘭處烘烤1) C80/2502)保護(hù)類型 IP40電源 電壓VDC14to30紋波Vpp 1電流損耗,最大.mA500(最大.起始電流)功率損耗W 1輸出訊號,模擬V0 10.3測量范圍V1.9 10.0公式mbarU=6.143+1.286xlog10p誤差訊號V0 0.5(燈絲斷)輸出阻抗?2x4.7最小負(fù)載電阻k?10,短路保護(hù)反應(yīng)時間ms80規(guī)管標(biāo)識k?27.0,相關(guān)于電源公共點(diǎn)設(shè)備連接件 FCC68/RJ45,8腳,插頭規(guī)管電纜 8芯電纜加屏蔽暴露于真空中的材料 DIN1.4301,DIN1.4305,DIN1.4435,玻璃,NiFe,Ni燈絲 鎢 鎢 鎳內(nèi)容積 DN16ISO-KF,DN16CF-R,7/16-20UNFcm31.5DN16ISO-KF DN16CF-R,長管cm3101/8 NPT,4VCR,8VCR,1/2 管cm32最大壓強(qiáng)(絕對)mbar10,限于惰性氣體重量 DN16ISO-KF,7/16-20UNFg80DN16CF-R,4VCRg 1001/8 NPT,1/2 管g708VCR,DN16ISO-KF長管g130DN16CF-R長管g1401)水平安裝方位2)延伸管用于在法蘭處烘烤250 C