INFICONPEG100真空潘寧規(guī)提供了可靠的高真空測量。無高真空燈絲。由于等離子點火的鈦陰極板和高電壓降低，潘寧規(guī)也可以應用在陰極濺射鍍膜工藝上。特點： 測量范圍廣：5X10-7～1Pa 全金屬冷陰極陶瓷傳感器 新型幾何電極提供了極好的點火性能 降低等離子點火高電壓和鈦陰極板污染的危險，即使在氬濺射過程中也一樣 陽極環(huán)和鈦陰極可清洗，更換容易 最小磁場強度測量 LED指示燈電源和等離子點火 對數(shù)模擬輸出信號 Fieldbus總線接口（ProfibusDB,DeviceNet）,集成到真空系統(tǒng)的網絡通信