INFICON復合真空規(guī) （冷陰極和皮拉尼的復合）型號：MPG400和MPG401,INFICON的冷陰極和皮拉尼的復合真空規(guī)MPG400和MPG401,測量范圍從5x10-9毫巴至大氣壓(3.8x10-9乇至大氣壓).將兩種測量方式組合在一個具有對數(shù)模擬輸出的小型單元內,大大地降低了安裝,設置和集成的復雜性.優(yōu)點：復合真空規(guī) 冷陰極與皮拉尼寬的壓強測量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓無可燒毀的燈絲卓越的引燃功能易清洗FPM或金屬密封的饋入件高壓加上時LED指示燈亮對數(shù)模擬輸出訊號應用：高真空壓強監(jiān)測蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強測量一般真空測量和控制，從中至高真空范圍