一、概述：本裝置是我公司和武漢工程大學(xué)等離子體化學(xué)與新材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合研制。裝置由微波源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、冷卻水系統(tǒng)、微波傳輸及微波諧振腔組成；由微波源產(chǎn)生的頻率為2.45GHz的微波，沿BJ22矩形波導(dǎo)管以TE10模式傳輸，經(jīng)過(guò)調(diào)整短路活塞，最后在水冷諧振腔反應(yīng)室內(nèi)激勵(lì)氣體形成軸對(duì)稱(chēng)的等離子體球；在基材（如硅片、玻璃）上完成微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備各種功能薄膜材料（如BN薄膜、金剛石薄膜、氮化碳薄膜等）、微波等離子體刻蝕加工實(shí)驗(yàn)、材料表面改性、微波等離子體清洗材料表面、微波等離子體化學(xué)合成等實(shí)驗(yàn)；適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實(shí)驗(yàn)及教師科學(xué)研究。二、特點(diǎn)：◆無(wú)內(nèi)部電極，可避免放電污染，運(yùn)行氣壓范圍寬，能量轉(zhuǎn)換效率高，可產(chǎn)生大范圍的高密度等離子體?！粼O(shè)有垂直交叉的兩個(gè)方向的透明觀察窗，可直觀觀察等離子體的放電特性。◆微波等離子體刻蝕精度達(dá)到亞微米級(jí)。制備各種功能薄膜材料的速率較快。三、技術(shù)參數(shù)及性能：1、微波源：功率0~800W連續(xù)可調(diào)輸出；2、真空系統(tǒng)：采用旋片真空泵，單相220V交流電源，極限真空6 10-2帕，抽速2升/秒，額定轉(zhuǎn)速1400轉(zhuǎn)/分；真空計(jì)采用數(shù)顯壓阻式真空計(jì)和熱偶真空計(jì)聯(lián)合作用，用于測(cè)量本底真空和工作時(shí)的工作氣壓。真空密封采用金屬和橡膠密封；真空調(diào)節(jié)采用隔膜閥粗調(diào)和微調(diào)閥精細(xì)調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)快速方便、穩(wěn)定性好。3、供氣系統(tǒng)：有兩路獨(dú)立供氣氣路，通過(guò)轉(zhuǎn)子流量計(jì)控制流量。4、自帶冷卻水循環(huán)系統(tǒng)形成冷卻水。制冷系統(tǒng)可保證冷卻水溫度在25度以下，無(wú)水源要求。5、微波傳輸及微波諧振腔：配有環(huán)行器、水負(fù)載和三螺釘阻抗調(diào)配器，可保證微波源的安全工作；配有微波反射測(cè)量系統(tǒng)，保證等離子體最大限度地吸收微波能。反應(yīng)室工作壓強(qiáng)：幾帕～十千帕；反應(yīng)室極限壓強(qiáng)：6 10-2帕；真空反應(yīng)室石英管腔體尺寸： 50mm；基片溫度范圍：200～1000℃，通過(guò)熱電偶測(cè)量基片溫度并通過(guò)冷卻水來(lái)調(diào)節(jié)基片溫度；電磁波功率：0～800W；接地線＜3 。