主要特點(diǎn):1.采用新的內(nèi)置電源系統(tǒng)，取消了原系統(tǒng)中的powermodule機(jī)箱。2.將原系統(tǒng)中所有的控制電路板取消，重新設(shè)計(jì)整合成為三塊電路板。整體結(jié)構(gòu)更加緊湊，設(shè)備占用空間小，同時(shí)新系統(tǒng)還在I/O信號(hào)檢測(cè)、平面電機(jī)控制、設(shè)備狀態(tài)顯示等方面做了重新設(shè)計(jì)，大大降低了整體維護(hù)成本。3.XYZ方向運(yùn)動(dòng)速率采用先進(jìn)的S-Curve算法控制Chuck運(yùn)動(dòng)，XY方向可以由用戶根據(jù)需要自行編制控制曲線，Z軸方向行程高度可以設(shè)置調(diào)整，增強(qiáng)了系統(tǒng)的可操控性。探針觸點(diǎn)的緩沖接觸，避免了wafer損傷或接觸不良等情形的發(fā)生。4.保留了平面電機(jī)系統(tǒng)氣浮軸承無(wú)摩擦、啟停迅速、運(yùn)行穩(wěn)定、高精度、噪音小、維護(hù)方便和長(zhǎng)壽命等優(yōu)點(diǎn)。5.配合PC機(jī)和操作軟件，能夠完成測(cè)試、打點(diǎn)、離線mapping、數(shù)據(jù)輸出等各種功能，可以很好地應(yīng)用于中小規(guī)模IC、半導(dǎo)體分立器件，特別是LED等專用器件的參數(shù)測(cè)試。與AW-PCM測(cè)試系統(tǒng)連接，可用于工藝控制數(shù)據(jù)的采集和分析。