4200-SCS型半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)-集成前沿的脈沖能力和精密DC測量,用于65nm節(jié)點及更小尺寸主要特點及優(yōu)點 直觀的、點擊式Windows操作環(huán)境獨特的遠(yuǎn)端前置放大器,將SMU的分辨率擴展至0.1fA用于高級半導(dǎo)體測試的新型脈沖與脈沖式I-V功能集成了示波與脈沖測量功能的新型示波卡內(nèi)置PC提供快速的測試設(shè)置、強大的數(shù)據(jù)分析、制圖與打印、以及測試結(jié)果的大容量存儲獨特的瀏覽器風(fēng)格的軟件界面,根據(jù)器件的類型來安排測試,可以執(zhí)行多項測試并提供測試序列與循環(huán)控制功能內(nèi)置了Stress/Measure,循環(huán)和數(shù)據(jù)分析功能,通過鼠標(biāo)點擊方式就可進(jìn)行可靠性測試,包括5個JEDEC規(guī)范的樣品測試支持Keithley590型與Agilent4284/4294型C-V儀、Keithley開關(guān)矩陣與Agilent81110脈沖發(fā)生器等多種外圍設(shè)備硬件由Keithley交互式測試環(huán)境(KITE)來控制,用戶測試模塊功能,可用于外接儀表控制與測試平臺集成,是KITE功能的擴充包括驅(qū)動軟件,支持CascadeMicrotechSummit12K系列、KarlSussPA-200和PA-300,Micromanipulator的8860自動和手動探針臺支持先進(jìn)的半導(dǎo)體模型參數(shù)提取,包括IC-CAP和CadenceBSIMProPlus/Virtuoso 容易使用的4200-SCS型半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)用于實驗室級的器件直流參數(shù)測試、實時繪圖與分析,具有高精度和亞fA級的分辨率。它提供了最先進(jìn)的系統(tǒng)集成能力,包括完整的嵌入式PC機,WindowsNT操作系統(tǒng)與大容量存儲器。其自動記錄、點擊式接口加速并簡化了獲取數(shù)據(jù)的過程,這樣用戶可以更快地開始分析測試結(jié)果。模塊名模塊描述主要指標(biāo)基本模塊4200-SMU4200源表模塊,用于I-V測試210V,100mA,2W4210-SUM4210源表模塊,用于I-V測試210V,1A,20W,精度0.1pA4200-PASMU前置放大器,加在SMU前端提供0.1fA的測試精度4200-CVUC-V測量單元1pf-1uf,1k-10Mhz4205-PG2雙通道脈沖發(fā)生器1hz-50mhz,+/-40V,min-width10ns4200-SCP21.25G雙通道示波器卡帶寬750Mhz,10V4200-SCP2HR200M高精度雙通道示波器卡帶寬250Mhz4200-PIV-A單脈沖I-V測試套裝PG2+SCP2+RTB24200-PIV-Q雙脈沖I-V測試套裝4200-FlASHN-Flash測試套裝其他選配4200-RBT外置偏置電壓合成器707A半導(dǎo)體開關(guān)矩陣主機708A單槽開關(guān)矩陣主機4200-SCP2-ACC70Mhz探針70718x12通用開關(guān)矩陣卡70728x12半導(dǎo)體開關(guān)矩陣卡7072-HV8x12高電壓半導(dǎo)體開關(guān)矩陣卡7174A8x12高速度,低電流開關(guān)矩陣卡