四探針測試儀四探針檢測儀四探針測定儀型號：HARTS-8HARTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。技　術(shù)　指　標(biāo)：測量范圍電阻率：10-4～105 .cm(可擴(kuò)展)；方塊電阻：10-3～106 /□(可擴(kuò)展)；電導(dǎo)率：10-5～104s/cm；電阻：10-4～105 ；可測晶片直徑140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；恒流源電流量程分為1 A、10 A、100 A、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)數(shù)字電壓表量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10 V；輸入阻抗： 1000M ；精度： 0.1%；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；四探針探頭基本指標(biāo)間距：1 0.01mm；針間絕緣電阻： 1000M ；機(jī)械游移率： 0.3%；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16牛頓(總力)；四探針探頭應(yīng)用參數(shù)(見探頭附帶的合格證)模擬電阻測量相對誤差(按JJG508-87進(jìn)行)0.01 、0.1 、1 、10 、100 、1000 、10000 0.3% 1字整機(jī)測量最大相對誤差(用硅標(biāo)樣片：0.01-180 .cm測試) 5%整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 5%計(jì)算機(jī)通訊接口并口標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度：23 2℃；相對濕度： 65%；無高頻干擾；無強(qiáng)光直射；配置四探針測試儀主機(jī)、探針臺、四探針探頭、