四探針測(cè)試儀(SZT-2A)主要說明: 1.主機(jī)采用世界領(lǐng)先的先進(jìn)電路設(shè)計(jì),所測(cè)數(shù)值更精、更快、更準(zhǔn)(一代為傳統(tǒng)式電路,缺點(diǎn):體積大,速度慢,元器件繁多導(dǎo)致影響機(jī)器壽命)。2.屏幕采用液晶顯示(一代為只有數(shù)碼管顯示),手自一體(自動(dòng)是標(biāo)配,手動(dòng)手持是自選)。3.匹配電腦接口及軟件(有232接口和USB兩種接口),讓操作簡(jiǎn)便明了化(可直接連接電腦,電腦進(jìn)行自動(dòng)運(yùn)算根據(jù)輸入指定厚度,自動(dòng)比照并修正系數(shù),使被測(cè)結(jié)果更精確,數(shù)據(jù)可儲(chǔ)藏或刪除,利于使用方保存記錄)。4.二代的測(cè)試架采用自動(dòng)傳感裝置,接近被測(cè)物體時(shí)實(shí)行自動(dòng)減速,避免了被測(cè)物體的損耗和探頭的磨損(領(lǐng)先于國內(nèi)市場(chǎng)上任何一款同類產(chǎn)品的測(cè)試架,老一代為手動(dòng))。5.本儀器測(cè)試電阻、電阻率、方塊電阻時(shí),標(biāo)準(zhǔn)系數(shù)為隨選擇鍵自動(dòng)運(yùn)算,無需另外手工調(diào)整,省去了原儀器的諸多麻煩。6.本儀器的最大分辨率為0.1m 。7.測(cè)試探頭為鎢針,市場(chǎng)上多為高速鋼針。8.每次測(cè)量均有內(nèi)置計(jì)算機(jī)自動(dòng)進(jìn)行溫度補(bǔ)償及電壓電流矯正。9.整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度: 2%(國內(nèi)其它廠家誤差為 5%)10.技術(shù)參數(shù):1).測(cè)量范圍:電阻率:10的-4次方~10的5次方 -cm方塊電阻:10的-4次方~10的5次方 /□電阻:10的-4次方~10的5次方 2).可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸直徑:5mm-130cm長(zhǎng)度: 400mm如果使用手持探針,尺寸范圍可以延伸3).測(cè)量方法:軸向、斷面均可4).顯示方式:41/2,數(shù)顯,極性、過載自動(dòng)顯示,小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示。5).恒流源:(1)電流輸出:直流電流0~100mA(2)量程:10、100 A、1、10、100mA(3)誤差: 0.5%讀數(shù) 1個(gè)字6).四探針測(cè)試探頭(1)探針間距:1mm(2)材料:碳化鎢.探針
機(jī)械游移率: 1.0%7).電源:220 10%50Hz或60Hz功耗:<35W 為帶電腦接口 接口功能為當(dāng)硅片的厚度<1mm時(shí)自動(dòng)修正讀數(shù),使得測(cè)量出的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率為100%,被測(cè)試的數(shù)據(jù)自動(dòng)生成表格并可以打印,可以隨時(shí)保存和刪除