產(chǎn)品簡(jiǎn)介SGC-10薄膜測(cè)厚儀,適用于介質(zhì),半導(dǎo)體,薄膜濾波器和液晶等薄膜和涂層的厚度測(cè)量。該薄膜測(cè)厚儀,是我公司與美國(guó)new-span公司合作研制的,采用new-span公司先進(jìn)的薄膜測(cè)厚技術(shù),基于白光干涉的原理來(lái)測(cè)定薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)(折射率n,消光系數(shù)k)。它通過(guò)分析薄膜表面的反射光和薄膜與基底界面的反射光相干形成的反射譜,用相應(yīng)的軟件來(lái)擬合運(yùn)算,得到單層或多層膜系各層的厚度d,折射率n,消光系數(shù)k。該設(shè)備關(guān)鍵部件均為國(guó)外進(jìn)口,也可根據(jù)客戶(hù)需要整機(jī)進(jìn)口。參數(shù)和性能指標(biāo)厚度范圍:20nm-50um(只測(cè)膜厚),100nm-10um(同時(shí)測(cè)量膜厚和光學(xué)常數(shù)n,k)根據(jù)薄膜材料的種類(lèi),其范圍有所不同。準(zhǔn)確度: 1nm或 0.5%重復(fù)性: 0.1nm波長(zhǎng)范圍:380nm-1000nm可測(cè)層數(shù):1-4層樣品尺寸:樣品鍍膜區(qū)直徑 1.2mm測(cè)量速度:5s-60s光斑直徑:1.2mm-10mm可調(diào)樣品臺(tái):290mm*160mm光源:長(zhǎng)壽命溴鎢燈(2000h)光纖:純石英寬譜光纖探測(cè)器:進(jìn)口光纖光譜儀電源:AC100V-240V,50HZ-60HZ重量:18kg尺寸:300mm*300mm*350mm產(chǎn)品功能適用性該儀器適用于多種介質(zhì),半導(dǎo)體,薄膜濾波器和液晶等薄膜和涂層的厚度測(cè)量。 強(qiáng)大的軟件功能界面友好,操作簡(jiǎn)便,用戶(hù)點(diǎn)擊幾次鼠標(biāo)就可以完成測(cè)量可方便的保存、讀取測(cè)量得到的反射譜數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)處理功能強(qiáng)大??赏瑫r(shí)測(cè)量多達(dá)四層的薄膜的反射率數(shù)據(jù)。一次測(cè)量即可得到四層薄膜分別的厚度和光學(xué)常數(shù)等數(shù)據(jù)