花崗巖材料工作臺(tái)及導(dǎo)軌（臺(tái)面均布M102ⅹ50夾持孔系） 中空結(jié)構(gòu)工業(yè)陶瓷橫梁（矩形結(jié)構(gòu)使四個(gè)角受熱均勻，不易產(chǎn)生三維熱變形） 中空結(jié)構(gòu)工業(yè)陶瓷測臂（主軸） 三軸氣浮導(dǎo)軌（空氣軸承） 三軸全閉環(huán)反饋系統(tǒng)（Renishaw光柵/讀數(shù)頭） 三軸 自糾偏 傳動(dòng)系統(tǒng)（安全、平穩(wěn)） 測臂（主軸）氣動(dòng)垂向平衡裝置 機(jī)內(nèi)空氣精過濾器和壓力調(diào)節(jié)器