儀器型號 SY-554 SY-564 SY-8106測量行程 500*500*400（XYZ） 500*600*400（XYZ） 800*1000*600（XYZ） 光學尺解析度 0.5um 0.5um 0.5um 測量軟件 美國IQCMM-MANAGER軟件 接觸式測頭 英國RENISHAWMCP(MH20i+TP20選配） 操作方式 手動 線性精度 E=3+L/300um E=3+L/300um E=3+L/300um 重復性精度 3um 3um 3um 儀器重量 800kg 850kg 2500kg 全機尺寸 1100 1300 2300mm 1100 1400 2300mm 1500 1900 2800mm 工件限高 400mm 400mm 500mm 工件限重 300KG 300KG 800KG 環(huán)境要求 溫度:20 2℃ 濕度:60 5%