微型自調(diào)焦激光傳感器適用替代現(xiàn)有傳統(tǒng)的位移和粗糙度測(cè)頭。它可以進(jìn)行快速非接觸式表面輪廓和粗糙度測(cè)量以及精密位移的測(cè)量。激光測(cè)量光束借助于一個(gè)物鏡聚焦于物體表面。由于物鏡的位置是被連續(xù)調(diào)整的，因而激光束的焦點(diǎn)總是與物體表面重合。表面輪廓和局域光的反射是被同時(shí)測(cè)量的。因而，本組件可測(cè)定各種邊緣和各種材料。所有傳感器功能可以借助于儀器上配備的軟件宏進(jìn)行控制。這些宏指令可以裝載于已有的軟件中。AFS傳感器具有表面復(fù)現(xiàn)高度保真的特點(diǎn)。作為一個(gè)選擇項(xiàng)，傳感器可配備微型照相機(jī)適配器，以便能夠?qū)Ρ砻嫫蔚挠^察直接進(jìn)入鏡頭，使激光光束精密定位。采用特別開(kāi)發(fā)、高度集成的BMT-IC，傳感器熱漂移極低。采用大數(shù)值孔徑物鏡，儀器無(wú)論在垂直方向還是在水平方向均能提供較高的分辨率。主要用途： ◆ 具有高保真表面復(fù)現(xiàn)的表面粗糙度和輪廓的測(cè)量◆ 精密位移測(cè)量◆ 微機(jī)械零件的尺寸測(cè)量◆ 冶金金相測(cè)量◆ 振動(dòng)測(cè)量◆ 厚度測(cè)量◆ 直線度,平面度，弧度的測(cè)量主要特點(diǎn)：◆ 非接觸式表面輪廓測(cè)量、反射性能的測(cè)量、垂直和橫向的尺寸測(cè)量◆ 唯一的通過(guò)透鏡觀測(cè)描繪被測(cè)物體表面特征的傳感器◆ 微型化的傳感器◆ 分辨率1nm◆ 可達(dá)2000 m大的測(cè)量范圍◆ 光斑直徑 1 m◆ 適用已確定的制造業(yè)的幾乎所有粗糙度測(cè)量體系◆ 連續(xù)聚焦 主要優(yōu)點(diǎn)：◆ 在高保真輪廓復(fù)現(xiàn)下對(duì)3D結(jié)構(gòu)進(jìn)行快速的非接觸式測(cè)量 ◆ 測(cè)量結(jié)果與表面結(jié)構(gòu)無(wú)關(guān) ◆ 數(shù)據(jù)采集和評(píng)估可歸并到已有的軟件中◆ 具有可組裝性，可組裝到已有的系統(tǒng)中 技術(shù)數(shù)據(jù)： 型 號(hào)AFS1傳感器AFS2傳感器TFS傳感器測(cè)量范圍祄 500/ 50 1000/ 100 500/ 50垂直分辨率nm11 工作距離mm2213激光班直徑（約） m0.50.51最大測(cè)量頻率*kHz202020最大視場(chǎng)傾角** 202015激光波長(zhǎng)nm635635635激光等級(jí)111外形尺寸mm52x25x5852x25x5852x25x58重量（約）g100100100