Talyrond395超高精度圓柱度測(cè)量?jī)x型號(hào):Talyrond395技術(shù)參數(shù)1.主軸(1)類型:超高精度空氣軸承(2)旋轉(zhuǎn)速度:1,2,6和10rpm,雙向(3)位置控制:0.2 (4)位置分辨率:0.025 (5)圓度不確定度:?0.01 m+0.0003 m/mm(6)軸向測(cè)量不確定度:0.02 m+0.0003 m/mm(7)玻璃半球(Ront):0.02 m(坡度0.002 m/7.2 )(8)標(biāo)定不確定度:?0.005 m2.傳感器(1)類型:Talymin5側(cè)面電感傳感器(2)測(cè)桿長(zhǎng)度:標(biāo)準(zhǔn)100mm,更長(zhǎng)亦可提供(3)測(cè)量范圍:2mm(4)分辨率/范圍:0.03 m/ 1mm,0.006 m/ 0.2mm,0.0012 m/ 0.04mm3.調(diào)心調(diào)平(1)調(diào)中心范圍: 2.5mm(2)調(diào)水平范圍: 0.5 (3)調(diào)中心精度: 0.2 m(4)調(diào)水平精度: 0.8 4.立柱(1)位置控制不確定度:5 m(2)位置分辨率:0.1 m(3)測(cè)量速度:0.5,1,2,5,10mm/秒(4)移動(dòng)速度:0.5,1,2,5,10,30mm/秒(5)直線度誤差:0.2 m/500mm,0.1 m+0.0002 m/mm(6)對(duì)主軸的平行度:1 m/500mm5.徑向直線度單元(1)位置控制不確定度:5 m(2)位置分辨率:0.1 m(3)測(cè)量速度:0.5,1,2,5,10mm/秒(4)移動(dòng)速度:0.5,1,2,5,10,30mm/秒(5)直線度誤差:0.25 m/200mm,0.125 m+0.000625 m/mm(6)對(duì)主軸的垂直度:1 m/200mm主要特點(diǎn)Talyrond395是英國(guó)泰勒霍普森有限公司于2005年推出的全自動(dòng)、超高精度幾何形狀測(cè)量系統(tǒng)。與其他設(shè)備相比,特點(diǎn)如下:1.高精度的主軸Talyrond395金剛石車削的空氣主軸具有無(wú)與倫比的徑向(?0.01 m)和軸向精度(0.02 m)。2.可溯源的標(biāo)定圓度精度達(dá)到納米水平必須做到可溯源。Talyrond395系統(tǒng)中包括的超高精度玻璃半球的圓度誤差不大于0.01 m,任意坡度值小于2nm/7.2 。使用該標(biāo)定球可驗(yàn)證和監(jiān)控主軸的性能在指標(biāo)以內(nèi)。3.傳感器分辨率新的Talymin5傳感器具有1.2nm的分辨率,可用于高精度的測(cè)量。
機(jī)械結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)大大降低了測(cè)量過(guò)程中漂移,并使測(cè)頭與工件的之間的接觸更加穩(wěn)定。4.動(dòng)態(tài)隔震系統(tǒng)為了實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精度和重復(fù)性,所有可能的誤差源必須消除。為隔離地板震動(dòng),Talyrond395在基座和支撐框架之間設(shè)有主動(dòng)防震系統(tǒng)。5.調(diào)心調(diào)平過(guò)程中主軸連續(xù)回轉(zhuǎn)在調(diào)心調(diào)平過(guò)程中,Talyrond395不需要主軸停止回轉(zhuǎn)。該特性可節(jié)省調(diào)心調(diào)平時(shí)間,另可提供測(cè)量的穩(wěn)定性。配合高精度的調(diào)心調(diào)平系統(tǒng),Talyrond395可將偏心調(diào)整至0.2 m以內(nèi)。6.儀器外罩氣流、溫度波動(dòng)以及噪聲都會(huì)對(duì)高精度測(cè)量帶來(lái)影響。Talyrond395包括一標(biāo)配的儀器外罩,可將測(cè)量平臺(tái)與外部環(huán)境隔離。7.各軸的精度Talyrond395的各個(gè)軸均具有很高的精度。除以上所述的主軸精度外,垂直立柱的直線度為0.1 m+0.0002 m/mm,水平橫臂的直線度為0.125 m+0.000625 m/mm。其結(jié)果使Talyrond395成為一臺(tái)超精密的測(cè)量?jī)x器,并可滿足用戶最高精度的測(cè)量要求。8.Ultra軟件基于WindowsXP的Ultra軟件大量采用圖標(biāo),操作簡(jiǎn)便。其分析參數(shù)符合最新ISO標(biāo)準(zhǔn)。Talyrond395支持部分圓弧圓度測(cè)量、部分圓弧平面度測(cè)量、多平面平面度測(cè)量等。另由于橫臂可以過(guò)中心,可以進(jìn)行正確的平行度測(cè)量。儀器介紹Talyrond395是英國(guó)泰勒霍普森有限公司于2005年推出的全自動(dòng)、超高精度幾何形狀測(cè)量系統(tǒng)。與其他設(shè)備相比,特點(diǎn)如下:1.高精度的主軸Talyrond395金剛石車削的空氣主軸具有無(wú)與倫比的徑向(?0.01 m)和軸向精度(0.02 m)。2.可溯源的標(biāo)定圓度精度達(dá)到納米水平必須做到可溯源。Talyrond395系統(tǒng)中包括的超高精度玻璃半球的圓度誤差不大于0.01 m,任意坡度值小于2nm/7.2 。使用該標(biāo)定球可驗(yàn)證和監(jiān)控主軸的性能在指標(biāo)以內(nèi)。3.傳感器分辨率新的Talymin5傳感器具有1.2nm的分辨率,可用于高精度的測(cè)量。機(jī)械結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)大大降低了測(cè)量過(guò)程中漂移,并使測(cè)頭與工件的之間的接觸更加穩(wěn)定。4.動(dòng)態(tài)隔震系統(tǒng)為了實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精度和重復(fù)性,所有可能的誤差源必須消除。為隔離地板震動(dòng),Talyrond395在基座和支撐框架之間設(shè)有主動(dòng)防震系統(tǒng)。5.調(diào)心調(diào)平過(guò)程中主軸連續(xù)回轉(zhuǎn)在調(diào)心調(diào)平過(guò)程中,Talyrond395不需要主軸停止回轉(zhuǎn)。該特性可節(jié)省調(diào)心調(diào)平時(shí)間,另可提供測(cè)量的穩(wěn)定性。配合高精度的調(diào)心調(diào)平系統(tǒng),Talyrond395可將偏心調(diào)整至0.2 m以內(nèi)。6.儀器外罩氣流、溫度波動(dòng)以及噪聲都會(huì)對(duì)高精度測(cè)量帶來(lái)影響。Talyrond395包括一標(biāo)配的儀器外罩,可將測(cè)量平臺(tái)與外部環(huán)境隔離。7.各軸的精度Talyrond395的各個(gè)軸均具有很高的精度。除以上所述的主軸精度外,垂直立柱的直線度為0.1 m+0.0002 m/mm,水平橫臂的直線度為0.125 m+0.000625 m/mm。其結(jié)果使Talyrond395成為一臺(tái)超精密的測(cè)量?jī)x器,并可滿足用戶最高精度的測(cè)量要求。8.Ultra軟件基于WindowsXP的Ultra軟件大量采用圖標(biāo),操作簡(jiǎn)便。其分析參數(shù)符合最新ISO標(biāo)準(zhǔn)。Talyrond395支持部分圓弧圓度測(cè)量、部分圓弧平面度測(cè)量、多平面平面度測(cè)量等。另由于橫臂可以過(guò)中心,可以進(jìn)行正確的平行度測(cè)量。