Function8106型三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)基本技術(shù)參數(shù)行程:X軸800mmY軸1000mmZ軸600mm結(jié)構(gòu)型式:活動(dòng)橋式傳動(dòng)方式:直流伺服系統(tǒng)+預(yù)載荷高精度空氣軸承長度測(cè)量系統(tǒng):RENISHAW開放式光柵尺,分辨率為0.5μm機(jī)臺(tái):高精度花崗巖平臺(tái)使用環(huán)境:溫度(20±2)℃,濕度55%-65%,溫度梯度1℃/m,溫度變化1℃/h空氣壓力:0.4MPa-0.5Mpa空氣流量:120L/min-