主要特征: 采用L型移動橋式，由兩到三個高精度等高塊穩(wěn)固支撐Y向槽型導軌，左立柱與橫梁、滑架、鞍座共同組成移動橋，提高了運動質(zhì)心，減少了阿貝誤差? X軸和Z軸均采用超精加工及經(jīng)過表面硬質(zhì)陽極化處理的航空鋁合金? Y軸采用一體化槽型精密花崗石導軌? Z軸采用專利的可調(diào)式氣動平衡設計，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運動和傳動系統(tǒng)之間的干涉問題，提高了測量機的精度和長期穩(wěn)定性? 各運動軸均采用直流伺服驅動+增強型同步帶，確保運動的平穩(wěn)和準確定位? 三軸均采用預載荷空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導軌永不受磨損? 三軸均采用高精度歐洲進口光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達0.078um；同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時的線性伸縮? 采用?？怂箍禐镕unctionPlus專業(yè)打造的IDC-II控制系統(tǒng)，21項誤差空間修正技術和自動調(diào)諧功能，保證了大型機器的動態(tài)性能和測量精度? 測量機三軸都配置溫度傳感器，實時監(jiān)控溫度變化，自動補償由于溫度變化而引起的誤差? 軟件為業(yè)界標桿的PC-DMISBASIC(/PC-DMISPREMIUM)，功能強大，易學高效規(guī)格型號與技術指標: