機構方式：多孔質靜壓空氣軸（高精度的保證）彩色大型液晶顯示畫面旋轉一周最大采集點數(shù)：8192點/轉（高精度的保證）轉速：1~10rpm 旋轉工作臺重復精度：（0.04+0.0006H）um H為測量高度mm工作臺有效直徑： 155mm 調心范圍：+/-2mm，調水平范圍：+/-2度最大測量直徑/承載重量： 450mm/20kg最大工件直徑： 470mm Z軸（垂直軸）垂直移動范圍：300mm最大檢測高度：外徑450mm 內徑225mm 檢測器（測頭及測針）測力/可測量范圍：100mN以內可變 /1800um記錄的放大倍率：200X 2000X 20000X