測量范圍最大測量直徑Ф420mm左右進(jìn)給范圍(R軸)220mm上下進(jìn)給范圍(Z軸)500mm最大裝載直徑Ф680mm最大測量高度外徑500mm(圓度、同軸度測量時(shí)為700mm)、內(nèi)徑500mm回轉(zhuǎn)精度JIS/ISO(0.020+6H/10000)μm最小平方圓的最大偏差(0.010+3H/10000)μm直線度精度上下方向(Z軸)0.1μm/100mm,0.25μm/500mm半徑方向(R軸)0.5μm/200mm平行度精度上下方向(Z軸)1.5μm/500mm指示精度半徑方向(R軸)(2+L/200)μm