1. 卓越的觀察/測量性能2.0.1UM的分辨率和150MM/200MM的Z軸范圍3.采用遠(yuǎn)心光學(xué)設(shè)計物鏡,可提供更銳利的圖像,在測量臺階時可精確對焦,無段差。4.可通過更換物鏡調(diào)節(jié)倍率5.可通過工作臺上的快速釋放系統(tǒng)在粗動和微動之間進(jìn)行即時切換6.可使用同軸照明光源或環(huán)形照明光源7.可通過圖像導(dǎo)航功能時行快速測量 技術(shù)參數(shù):型號VTM-E2010VTM-E3020測量范圍X200mm300mmY100nn200mmZ150mm200mm分辨率0.001mm/0.0001mm長度標(biāo)準(zhǔn)線性編碼器測量精度(3+L/200)um L為被測長度 單位:mm最大工件重量10KG圖像檢測裝置SONY 1/2 高分辨率彩色CCD攝像機(jī)照明輪廓柯勒照明,孔徑光闌可調(diào),超亮白色LED,連續(xù)可調(diào)表面物方遠(yuǎn)心光路,超亮白色LED,連續(xù)可調(diào)最大工作高度170mm210mm電源110V-240V