Baratron 薄膜電容式高精度壓力傳感器(溫度控制在45℃)690A高精度絕對壓力傳感器,滿量程范圍:0.1 2500Torr,精度:讀數(shù)值的0.05%。698A高精度差壓式壓力傳感器,滿量程范圍:0.1 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.05%。 Baratron 薄膜電容式壓力傳感器(工作在室溫)622A絕對壓力傳感器,滿量程范圍:1 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.15%。626A絕對壓力傳感器,滿量程范圍:0.1 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.15%。623A絕對壓力傳感器(帶繼電器觸點(diǎn)控制),滿量程范圍:10 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.15%。722A緊湊型絕對壓力傳感器,滿量程范圍:1 2500Torr,精度:讀數(shù)值的0.5%。i-Baratron DMA帶DeviceNet 通訊口的數(shù)字絕對壓力傳感器,滿量程范圍:0.1 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.15%。 Baratron 薄膜電容式壓力傳感器(溫度控制在45℃)627B/629B絕對壓力傳感器,滿量程范圍:0.02 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.12%。E27B/E29BEtch專用絕對壓力傳感器,滿量程范圍:0.02 100Torr,精度:讀數(shù)值的0.12%。624B絕對壓力傳感器(帶繼電器觸點(diǎn)控制),滿量程范圍:1 2000Torr,精度:讀數(shù)值的0.12%。727A緊湊型絕對壓力傳感器,滿量程范圍:1 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.5%。627C/E27Ce-Baratron 帶以太網(wǎng)通訊口的絕對壓力傳感器/Etch專用絕對壓力傳感器,滿量程范圍:0.1 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.12%。i-Baratron DMA帶DeviceNet 通訊口的數(shù)字絕對壓力傳感器,滿量程范圍:0.1 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.12%。D27B/D24B雙量程絕對壓力傳感器/絕對壓力傳感器(帶繼電器觸點(diǎn)控制),滿量程范圍:1 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.12%。 Baratron 薄膜電容式壓力傳感器(溫度控制在100℃)628B/629B絕對壓力傳感器,滿量程范圍:0.02 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.25%。E28B/E29BEtch專用絕對壓力傳感器,滿量程范圍:0.02 100Torr,精度:讀數(shù)值的0.25%。625B絕對壓力傳感器(帶繼電器觸點(diǎn)控制),滿量程范圍:1 2000Torr,精度:讀數(shù)值的0.25%。728A緊湊型絕對壓力傳感器,滿量程范圍:1 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.5%。628C/E28Ce-Baratron 帶以太網(wǎng)通訊口的絕對壓力傳感器/Etch專用絕對壓力傳感器,滿量程范圍:0.1 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.25%。i-Baratron DMA帶DeviceNet 通訊口的數(shù)字絕對壓力傳感器,滿量程范圍:0.1 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.25%。(溫度控制在80℃)D28B/D25B雙量程絕對壓力傳感器/絕對壓力傳感器(帶繼電器觸點(diǎn)控制),滿量程范圍:1 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.25%。 Baratron 薄膜電容式壓力傳感器(溫度控制在100℃以上)631B高溫型絕對壓力傳感器,滿量程范圍:1 000Torr,精度:讀數(shù)值的0.5%,溫度控制在150℃或200℃??蛇x帶繼電器觸點(diǎn)控制 Baratron 差壓式薄膜電容式壓力傳感器223B差壓式壓力傳感器( 15V電源),滿量程范圍:0.2 1000Torr,精度:0.3%。225A差壓式壓力傳感器(+24V電源),滿量程范圍:0.2 1000Torr,精度:0.3%。 Micro-Baratron 薄膜電容式壓力傳感器890單端連接式/892氣流通過連接式壓力傳感器,滿量程范圍:1000Torr 3000psi,精度:讀數(shù)值的1%。891單端連接式/893氣流通過連接式壓力傳感器帶壓力顯示,滿量程范圍:1000Torr 3000PSI,精度:讀數(shù)值的1%。 壓力開關(guān)41單端連接式表讀壓力/42氣流通過連接式表讀壓力/51單端連接式絕對壓力/52氣流通過連接式絕對壓力壓力開關(guān),滿量程范圍:10Torr 500psi,精度:0.5%。 集成Baratron 的壓力控制器 PC90集成Baratron 的壓力控制器,集成壓力顯示器,可控制上游或下游壓力。滿量程范圍:100 2000Torr,精度:讀數(shù)值的1%。 PC99集成Baratron 的帶流量監(jiān)測的壓力控制器,集成壓力/流量顯示器,可控制下游壓力。壓力滿量程范圍:100 2000Torr,流量滿量程范圍:10 5000SCCM,精度:讀數(shù)值的1%。640絕對壓力/641表讀壓力集成Baratron 的壓力控制器,可控制上游或下游壓力。滿量程范圍:10 1000Torr,精度:讀數(shù)值的0.5%。649集成Baratron 的帶流量監(jiān)測的壓力控制器,可控制下游壓力。壓力滿量程范圍:10 1000Torr,流量滿量程范圍:10 5000SCCM,精度:讀數(shù)值的0.5%。 上游壓力控制閥和壓力控制器148J金屬密封壓力控制閥,滿量程范圍:10 3000SCCM。248A橡膠密封壓力控制閥,滿量程范圍:10 5000SCCM。154A大流量壓力控制閥,滿量程范圍:20 200slm。250E氣體壓力/流量控制器。其輸入壓力或流量信號,通過PID閉環(huán)控制模塊,控制壓力閥和(或)質(zhì)量流量控制器. 下游壓力控制閥和壓力控制器T3PIA集成了控制和驅(qū)動(dòng)器的擺式壓力控制閥。其特點(diǎn)是壓力控制范圍寬,速度快,能精確可靠地控制壓力。閥具有良好的低流導(dǎo)甚至閥接近關(guān)閉位置的控制能力。自調(diào)諧功能使得閥能最快的響應(yīng)和最小的過沖。模擬和數(shù)字通訊口可選。其還具有隔離閥的功能。T3BIA集成了控制和驅(qū)動(dòng)器的蝶式節(jié)流閥。其特點(diǎn)是能快速,能精確可靠地控制壓力。閥具有良好的低流導(dǎo)甚至閥接近關(guān)閉位置的控制能力。自調(diào)諧功能使得閥能最快的響應(yīng)和最小的過沖。模擬和數(shù)字通訊口可選。253B/653B蝶式節(jié)流閥/高速蝶式節(jié)流閥。其特點(diǎn)是能快速,精確,可靠地控制壓力。各種尺寸接口可選??膳c651控制器配套使用。651C自調(diào)諧/數(shù)字PID控制器。其能控制和驅(qū)動(dòng)253/653節(jié)流閥。自調(diào)諧功能優(yōu)化壓力控制參數(shù)。 壓力傳感器/質(zhì)量流量控制器電源和顯示儀PDR2000雙通道電源和顯示儀。提供壓力傳感器電源和壓力顯示。660B單通道電源和顯示儀。提供壓力傳感器電源和壓力顯示。246C/247D單/四通道電源和顯示儀。提供質(zhì)量流量控制器電源,流量設(shè)置和流量顯示。PR4000單或雙通道電源和顯示儀。提供壓力傳感器和(或)質(zhì)量流量控制器電源,流量設(shè)置和壓力/流量顯示。647C四或八通道電源和顯示儀。提供壓力傳感器和質(zhì)量流量控制器電源,顯示一路壓力值,四路或八路流量設(shè)置和顯示。PID控制選件可用于由壓力信號來控制質(zhì)量流量控制器或上游控制閥。146C多達(dá)五通道電源和顯示儀。儀器有五個(gè)插槽供不同控制板使用。這些控制板可以是:壓力傳感器板、雙皮拉尼真空規(guī)板、冷陰極離子真空規(guī)板、熱陰極離子真空規(guī)板、質(zhì)量流量控制器板、PID控制板。