一、概述SPS19擴散硅壓力傳感器和將固態(tài)集成工藝與隔離膜片技術相結合,擴散硅芯片被封裝在充油腔體內(nèi),并通過不銹鋼膜片和外殼將其與測量介質(zhì)隔離開來,向用戶提供性價比良好的產(chǎn)品。SPS擴散硅系列壓力傳感器應用于了Senstable壓阻傳感器技術及溫度補償工藝,將溫度補償電阻環(huán)路制作在混合陶瓷基片上,提供范圍寬達0~70℃的溫度補償,在溫度補償范圍內(nèi)測量誤差小于0.75%。本系列可廣泛應用于氣、液壓力的檢測,甚至在惡劣環(huán)境下,如:污水、蒸汽、弱腐蝕性介質(zhì),仍具有優(yōu)良的性能。傳感器具有標準的零點輸出和寬廣的溫度補償。高靈敏性,信號輸出的穩(wěn)定性和重復性使之不受振動和沖擊等動態(tài)壓力負載的影響,具有卓越的
機械穩(wěn)定性。這些使得SPS19適用于及其惡劣的操作條件,其應用范圍如下:氣動控制系統(tǒng)環(huán)境保護醫(yī)療技術制冷和空調(diào)系統(tǒng)水力機械工程過程控制常規(guī)測量技術二、特點溫度補償和標準的零點輸出高過載能力高線性極好的可重復性長期穩(wěn)定性在振動和沖擊等動壓負載的作用下仍保持良好的堅固性和可靠性簡單的裝配和信號處理小巧的尺寸 19mm316L不銹鋼的高度抗腐蝕性長使用壽命三、技術參數(shù)供電電流(mA):1最大供電電流(mA):1.5零點輸出(mV): 2滿量程輸出(mV):100 30橋臂電阻:5KW 20%線性: 0.25%FSO綜合誤差(遲滯性,重復性): 0.05%FSO長期穩(wěn)定性: 0.1%FSO/年響應時間:<1.5ms溫度誤差[%FSO]:< 0.75補償溫度[℃]:0~70絕緣阻抗:>100MW(50VDC)工作溫度(℃):-40~+125補償溫度(℃):0~+70抗振動性:10gRMS(20~2000Hz)抗沖擊性:100g/11ms重量:10g壽命(周期):>1E+8四、量程0~35Kpa0~100Kpa0~200Kpa0~700Kpa0~1700Kpa五、過載能力(0~35)105Kpa(0~100)300Kpa(0~200)600Kpa(0~700)2100Kpa(0~1700)5100Kpa