一、概述SPS15擴(kuò)散硅壓力傳感器和將固態(tài)集成工藝與隔離膜片技術(shù)相結(jié)合，擴(kuò)散硅芯片被封裝在充油腔體內(nèi)，并通過(guò)不銹鋼膜片和外殼將其與測(cè)量介質(zhì)隔離開(kāi)來(lái)，向用戶(hù)提供性?xún)r(jià)比良好的產(chǎn)品。SPS擴(kuò)散硅系列壓力傳感器應(yīng)用于了Senstable壓阻傳感器技術(shù)及溫度補(bǔ)償工藝，將溫度補(bǔ)償電阻環(huán)路制作在混合陶瓷基片上，提供范圍寬達(dá)0~70℃的溫度補(bǔ)償，在溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)測(cè)量誤差小于0.75%。本系列可廣泛應(yīng)用于氣、液壓力的檢測(cè)，甚至在惡劣環(huán)境下，如：污水、蒸汽、弱腐蝕性介質(zhì)，仍具有優(yōu)良的性能。傳感器具有標(biāo)準(zhǔn)的零點(diǎn)輸出和寬廣的溫度補(bǔ)償。高靈敏性，信號(hào)輸出的穩(wěn)定性和重復(fù)性使之不受振動(dòng)和沖擊等動(dòng)態(tài)壓力負(fù)載的影響，具有卓越的機(jī)械穩(wěn)定性。這些使得SPS15適用于及其惡劣的操作條件，其應(yīng)用范圍如下：氣動(dòng)控制系統(tǒng)環(huán)境保護(hù)醫(yī)療技術(shù)制冷和空調(diào)系統(tǒng)水力機(jī)械工程過(guò)程控制常規(guī)測(cè)量技術(shù)二、特點(diǎn)溫度補(bǔ)償和標(biāo)準(zhǔn)的零點(diǎn)輸出高過(guò)載能力高線(xiàn)性極好的可重復(fù)性長(zhǎng)期穩(wěn)定性在振動(dòng)和沖擊等動(dòng)壓負(fù)載的作用下仍保持良好的堅(jiān)固性和可靠性簡(jiǎn)單的裝配和信號(hào)處理小巧的尺寸 15mm316L不銹鋼的高度抗腐蝕性長(zhǎng)使用壽命三、技術(shù)參數(shù)供電電流(mA)：1最大供電電流(mA)：1.5零點(diǎn)輸出(mV)： 2滿(mǎn)量程輸出(mV)：200 30橋臂電阻：5KW 20%線(xiàn)性： 0.25%FSO綜合誤差(遲滯性，重復(fù)性)： 0.05%FSO長(zhǎng)期穩(wěn)定性： 0.1%FSO/年響應(yīng)時(shí)間：＜1.5ms溫度誤差[%FSO]：＜ 0.75補(bǔ)償溫度[℃]：0~70絕緣阻抗：＞100MW(50VDC）工作溫度(℃)：-40~+125補(bǔ)償溫度(℃)：0~+70抗振動(dòng)性：10gRMS(20~2000Hz)抗沖擊性：100g/11ms重量：30g壽命(周期)：＞2E+7四、量程0~3.5Mpa0~7Mpa0~17Mpa0~35Mpa0~70Mpa五、過(guò)載能力(0~3.5)7Mpa(0~7)14Mpa(0~17)34Mpa(0~35)70Mpa(0~70)100Mpa