一.概述HD170直接熱式MFC/MFM采用熱式測量原理，直接用兩支快速反應的鎧裝傳感器測量氣體流量。由于沒有層流元件，并采用哈氏合金傳感器，HD170用于易結(jié)晶和腐蝕性的氣體測量。對低壓管道或者壓力損失小的應用，HD170也同樣適用。HD170直接熱式MFC/MFM與其它差壓原理的HD170一樣，具有三路流量/壓力/溫度顯示和輸出功能。 二．使用范圍產(chǎn)品主要用于真空,鍍膜,石油化工,煤炭冶金,制氣配氣,環(huán)保及各種分析,科研院所實驗設(shè)備。三.產(chǎn)品特點●直接熱式原理，無層流元件●無壓損,抗結(jié)晶,抗腐蝕●適用于各種低壓和高壓管道●精確測量和控制氣體的質(zhì)量流量●預熱時間短,零漂小，可靠性高●多種氣體可選,也可自行輸入四.技術(shù)參數(shù) 技術(shù)指標HD173-RC質(zhì)量流量控制器HD173-RM質(zhì)量流量控制器 量程范圍小量程:5SCCM～10SLM中量程:10SLM～30SLM大量程:30SLM～2000SLM 控制范圍控制器20：1流量計20：1 準確度流量： 3%F.S壓力：0.5%F.S溫度： 1℃ 線性 0.5%F.S 重復精度 0.2%F.S 響應時間100ms10ms 數(shù)字量RS232/485，MODBUS協(xié)議 模擬量0～5V、4～20mA、1～5V 供電12V/24V/ 15V可選 工作溫度0～50℃ 工作壓力工作壓差：0.03～0.5MPa工作壓降： 0.01Mpa 最大耐壓低壓1MPa，中壓3MPa，高壓10MPa 電氣連接DB15孔 漏率1 10-9SCCSHe溫度系數(shù) 0.015%F.S/℃流量產(chǎn)品底座材質(zhì)316L密封材料氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠接頭VCR1/4;swagelok 6