設計特點 熱式原理 一體化設計 滿量程從5SCCM到1000SLPM 響應時間不超過2秒鐘 操作壓力可達20MPa 對安裝位置不敏感 316SS材質，允許測量腐蝕性氣體 無直管段要求 單電源供電技術參數(shù)流量范圍：從0-5SCCM到0-1000SLPMN2，具體請參考表一響應時間：1～2秒精度： 1%滿量程（除114型）； 1.5%滿量程（114型）再現(xiàn)性： 0.2%滿量程量程比：50:1（2%-100%滿量程）環(huán)境和操作溫度：-10～70℃最大操作壓力：3000PSIG（20MPa），具體請參考表一零點漂移： 0.05%滿量程/℃范圍漂移： 0.05%讀數(shù)/℃壓力漂移：0.1%/atm（相對于N2）安裝方向：對位置不敏感預熱時間：10分鐘電氣連接：卡式（20針）或D型（9針）流量信號輸出：0-5VDC（最小負載電阻2K ）；0-10VDC（最小負載電阻3K ）；1-5VDC（最小負載電阻2K ）；4-20mA（請參考下面的說明）；對于流量信號輸出為4-20mA的負載電阻：環(huán)路電壓為6.5-15VDC時：0-450 環(huán)路電壓為15-30VDC時：200-750 供應電源：電壓輸出：＋12( 5％)（僅適用于0-5VDC和1-5VDC流量信號輸出）或+15( 10％)VDC電流輸出：＋15( 5％)或+24( 15％)VDC電流消耗：＜45mAdc重量：請參考表一結構材質主體：316SS傳感器組件：316LSS密封材質（ O 型環(huán)）：BunaN，EPDM，Kalrez?，Neoprene，Viton?過程連接：316SS