氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）性能指標(biāo)客戶沒有特別的要求時，氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）出廠通常以氮氣（N2）標(biāo)定。1000sccm等於1liter30slpm=30liters（公升）sccm:s=standardcc=cm的3次方m=minute（分鐘）slpm:s=standardl=literp=perm=minute（分鐘）標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定：溫度―――0℃（273.15K）氣壓―――760mmHg（101325Pa）項目M3030V型M3030A1流量規(guī)格（N2）10sccm～30slpm (可以根據(jù)客戶要求在10sccm到30slpm中任意一段量程進行標(biāo)定）2準(zhǔn)確度 1%F.S（FullScale）3重復(fù)精度 0.25%F.S（FullScale）4響應(yīng)時間 3sec(特別要求：: 1sec)5耐壓最高95bar6工作環(huán)境溫度5℃~65℃7輸入輸出信號0~5Vdc or 4~20mA8電源 15Vdc,350mA