氣體質(zhì)量流量控制器(MassFlowController簡稱MFC)能夠在較大的量程范圍內(nèi)對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。氣體質(zhì)量流量計(MassFlowMeter簡稱MFM)能夠在較大的量程范圍內(nèi)對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。它們在石化工業(yè)、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場合包括：電子工藝設(shè)備，如、氧化、CVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。Line-TechLtd.致力于對產(chǎn)品的性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進。對M系列氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計（MFM）進行了全新的技術(shù)改造，在功能和性能上有了進一步的提高。M系列氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計具有精度高、響應(yīng)速度快、重復(fù)性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下工作)，其操作使用方便，可任意位置安裝調(diào)試，并更好的與計算機連接實現(xiàn)自動控制。