上海百思得電子有限公司,自行研發(fā)、批量生產的――智能質量流量控制器,精密測量,完美控制,控制精度 1%FS(恒流)。MFC-1系列質量流量控制器是以氣體的質量流量為計量基準的流量計。其測量值不隨氣體的壓力,溫度的變化而波動。較之一般的體積流量計具有無可比擬的優(yōu)越性,同時具有測量精度高,計量的起始流量小,流通阻力小,耐腐蝕性能好等特點。 ZF-MFC-1系列質量流量控制器不僅具有精度高、重復性好、并有很好的流量穩(wěn)定作用(0.15MPa~0.6MPa輸出值保持不變)可程序設定流量、手/自動軟切換、數字調零、不同氣體系數修正、直接數字設定流量、穩(wěn)定可靠,操作方便,并可直接與上位機連接,由上位機實現設定、控制、記錄等功能,同時可輸出4~20mA信號,可供遠程儀表連接。技術參數:1、流量范圍:0~100,200,300,500SCCM(ml/min) 特殊規(guī)格另定2、準確度: 2%FS3、控制精度: 1%FS(恒流)4、線性: 2%FS5、工作壓差范圍:0.1~0.5Mpa6、耐壓:1Mpa7、編程功能:多段程序設定流量(可配置)8、工作環(huán)境溫度:-10~+~+50℃9、電源電壓:DC15V/0.5A10、控制方式:智能人工數顯裝置11、輸出信號:4~20mA12、計算機接口:RS48513、調零方式:數字調零14、設定流量方式:鍵入15、手/自動切換:無擾動16、外形尺寸:168 30 132mm17、重量:0.92Kg 適用范圍: IC工業(yè)特種材料學科化學工業(yè)、石油工業(yè)、照明、醫(yī)藥、環(huán)保、真空、擴散、氧化、外延CVD、等離子刻蝕濺射、離子注入鍍膜設備、光纖、熔煉微反應裝置、混汽配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜、熱分析。 用戶如有需求,請來電索取產品詳盡文本。