氣體工業(yè)是國民經(jīng)濟的基礎(chǔ)行業(yè)，隨著國民經(jīng)濟的快速發(fā)展，氣體工業(yè)特別是高純和超高純氣體以及電子用氣體行業(yè)也蓬勃發(fā)展。氣體中痕量雜質(zhì)的檢測是生產(chǎn)高純氣體和電子工業(yè)用氣的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，而這些氣體中微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點，原有的熱導(dǎo)等色譜檢測器均無法滿足高純氣體分析的要求。 氦離子化檢測器（PDHID）：