HFS5001小流量氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。 產品特點：傳感器靈敏度高，有極小的始動流量傳感器芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高貼壁式安裝，無直管段要求，易于安裝與使用輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232/I2C)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓零點穩(wěn)定度高全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性低功耗、低壓損響應速度快機械尺寸： 技術參數(shù)：HFS5001量程范圍0～20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制 sccm量程比 100：1 精度 （1.5 0.2FS）%重復性 0.75%零點輸出飄逸 30mV輸出飄逸0.16%/oc響應時間100（默認，50，100，200，500，100設置）ms工作電源8~18Vdc,50mA 輸出方式RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc 最大流量壓損900Pa最大流量壓力0.8MPa工作溫度-5~+45oC存儲溫度-20~+55oC工作濕度 95%RH(無結冰、無凝露) 機械接口M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭（配轉接模塊） 校準方式空氣（或其他氣體），20oC,101.325kPa 重量17.5g