應(yīng)用：微加工、激光誘導(dǎo)熒光、高精度打標(biāo)、半導(dǎo)體劃片、超快成像，細(xì)胞切割等。 技術(shù)參數(shù)輸出波長(zhǎng)266nm平均輸出功率3W輸出功率穩(wěn)定性 3%脈沖寬度20ns脈沖重復(fù)率0～100KHz光譜范圍~0.3nm光束質(zhì)量TEM00光斑大小2mm偏振度100:1光束發(fā)散角 1.5mrad工作溫度10 C~35 C冷卻方式水冷激光頭壽命10,000小時(shí)激光頭尺寸60cm(L) 40cm(W) 20cm(H)（或客戶定制）