設(shè)計(jì)特點(diǎn) 熱式原理 一體化設(shè)計(jì) 滿(mǎn)量程從5SCCM到1000SLPM 響應(yīng)時(shí)間不超過(guò)2秒鐘 操作壓力可達(dá)20MPa 對(duì)安裝位置不敏感 316SS材質(zhì)，允許測(cè)量腐蝕性氣體 無(wú)直管段要求 單電源供電技術(shù)參數(shù)流量范圍：從0-5SCCM到0-1000SLPMN2，具體請(qǐng)參考表一響應(yīng)時(shí)間：1～2秒精度： 1%滿(mǎn)量程（除114型）； 1.5%滿(mǎn)量程（114型）再現(xiàn)性： 0.2%滿(mǎn)量程量程比：50:1（2%-100%滿(mǎn)量程）環(huán)境和操作溫度：-10～70℃最大操作壓力：3000PSIG（20MPa），具體請(qǐng)參考表一零點(diǎn)漂移： 0.05%滿(mǎn)量程/℃范圍漂移： 0.05%讀數(shù)/℃壓力漂移：0.1%/atm（相對(duì)于N2）安裝方向：對(duì)位置不敏感預(yù)熱時(shí)間：10分鐘電氣連接：卡式（20針）或D型（9針）流量信號(hào)輸出：0-5VDC（最小負(fù)載電阻2K ）；0-10VDC（最小負(fù)載電阻3K ）；1-5VDC（最小負(fù)載電阻2K ）；4-20mA（請(qǐng)參考下面的說(shuō)明）；對(duì)于流量信號(hào)輸出為4-20mA的負(fù)載電阻：環(huán)路電壓為6.5-15VDC時(shí)：0-450 環(huán)路電壓為15-30VDC時(shí)：200-750 供應(yīng)電源：電壓輸出：＋12( 5％)（僅適用于0-5VDC和1-5VDC流量信號(hào)輸出）或+15( 10％)VDC電流輸出：＋15( 5％)或+24( 15％)VDC電流消耗：＜45mAdc