產(chǎn)品說(shuō)明精密複合積體電路氣態(tài)液態(tài)流量控制可配合數(shù)位顯示計(jì)功能說(shuō)明設(shè)備管路偵測(cè)、控制流量大小，液體或氣體皆可量測(cè)，可適用於半導(dǎo)體製程控制及其他電子材料製程流量控制。流量範(fàn)圍：5SCCM~400SLM溫度穩(wěn)定度0.05％/℃高精度±1％F.S.以下線性±0.5％F.S.以下再現(xiàn)性±0.2％F.S.以下具緩衝啟動(dòng)機(jī)能-變更設(shè)定值/電源投入時(shí)/外部閥門動(dòng)作時(shí)