大連瑞聞科技有限公司為您提供專業(yè)、高質(zhì)量美國MKS流量測量和控制產(chǎn)品！DELTA流量比例控制器能夠是您獲得最佳的工藝性能，它具有以下顯著特點：1、廣泛用于需要不同流量的分離設(shè)備，如刻蝕、去膠和PECVD等，可將目的氣體按照設(shè)定比例輸送到同一反應(yīng)器的不同區(qū)域.2、大量程范圍的流量（500/500sccm到10,000/10,000sccm）可供選擇.3、該設(shè)備在工作中保持一個低于大氣壓的管道壓力，因而通常不需要特殊的防漏措施。