氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM2030A，控制范圍：10sccm～30slpm，采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償。氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM2030A有精度高、響應(yīng)速度快、重復(fù)性好、長(zhǎng)期穩(wěn)定性佳、工作壓力范圍寬、測(cè)量介質(zhì)適應(yīng)性廣等特點(diǎn)，其操作方便，可任意位置安裝調(diào)試。 氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM2030A產(chǎn)品亮點(diǎn)： -類 型：MFM氣體質(zhì)量流量計(jì)-控制范圍：10sccm～30slpm (sccm:標(biāo)準(zhǔn)毫升/分slpm:標(biāo)準(zhǔn)升/分) -準(zhǔn)度等級(jí): 1%F.S-耐 壓： 90bar-標(biāo)準(zhǔn)接口：0-5VDC，4-20mA可選-響應(yīng)時(shí)間： 2sec-使用范圍：2~100%formaxrange-供電電源：+15~+28Vdc,350Ma-漏 率：1 10-9atm cc/sec-氣路連接：1/4 SWG，1/8 SWG，3/8 SWG，1/4 VCR-適用介質(zhì)：所有氣體（含腐蝕性氣體和有毒氣體）-無(wú)需溫度、壓力補(bǔ)償 氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM2030A性能指標(biāo)： 產(chǎn)品型號(hào)MFM2030VMFM2030A 流量范圍(N2)10sccm～30slpm 10sccm～30slpm 響應(yīng)時(shí)間 2秒 2秒 準(zhǔn)確度 1%滿量程 1%滿量程 重復(fù)精度 0.25%滿量程 0.25%滿量程 輸出輸入信號(hào) 0~5Vdc 0~5Vdc或4~20毫安 供電 +15~+28Vdc，350毫安 +15~+28Vdc，350毫安 耐壓 90bar 90bar 工作環(huán)境溫度 0~50 C 0~50 C 應(yīng)用領(lǐng)域：－分析儀器 －干刻（RIE/DRIE） －燃料電池－生物技術(shù) －氣相色譜分析 －等離子刻蝕－激光焊機(jī) －混氣配氣系統(tǒng) －微反應(yīng)裝置－真空鍍膜 －過(guò)程自動(dòng)化 －石化工業(yè)氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品概述氣體質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(縮寫為MFC )，是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與電腦連接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置，能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而精確地控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有輕微的變化，也不會(huì)影響其正常的工作。原則上不需要溫度和壓力補(bǔ)償。 （1）氣體流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)。 對(duì)于多數(shù)氣體流量測(cè)控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的測(cè)量?jī)x器，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于氣體質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計(jì)。 （2）氣體測(cè)量控制的自動(dòng)化 氣體質(zhì)量流量控制器可以將氣體流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示、累計(jì)流量自動(dòng)計(jì)量、數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄、電腦管理等，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。本產(chǎn)品的電子訊號(hào)控制方式為模擬式的（Analogtype），輸入輸出信號(hào)為0~+5V或4~20mA. （3）可精確地定量控制流量 氣體質(zhì)量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制、對(duì)于不同氣體的比例控制等特別管用。 （4）適用范圍廣泛 有很寬的工作壓力范圍，產(chǎn)品可以從真空直到10MP；本產(chǎn)品可以使用多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如三氟化硼、三氯化硼、氯化氫、氟化氫等等）；有很寬的流量范圍，產(chǎn)品最小流量范圍可達(dá)0~10sccm，最大流量范圍可達(dá)0~30slpm。流量控制范圍是滿量程的2~100%（量程比為50：1）。 （5）連接方法本產(chǎn)品的輸出信號(hào)是模擬的（0-5Vdc或4-20mA），不可以與電腦直接相連，一般需要在電腦上配A/D、D/A轉(zhuǎn)換板，也可以通過(guò)流量顯示儀和MFC相連。將模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換用于接收流量測(cè)量值，數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換用于給出0-5Vdc或4-20mA流量設(shè)定信號(hào)，這種轉(zhuǎn)換板在工業(yè)控制產(chǎn)品市場(chǎng)上很容易買到； 二、用途和特點(diǎn)氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著中重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。