大尺寸多層石英方箱是我公司自選開發(fā)并擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的項目。其主要性能特點體現(xiàn)在尺寸大、配件多、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、尺寸精度高及加工難度大。尺寸大體現(xiàn)在長度649.22mm，寬度371.60mm，高度365mm，體積是一般方箱的2－3倍，可容納12英寸的硅片。配件多體現(xiàn)在配件有外框、上下兩層法蘭及內(nèi)外共計6個螺紋。結(jié)構(gòu)復(fù)雜體現(xiàn)在主體由左側(cè)及右側(cè)兩部分相同結(jié)構(gòu)的方箱組成，每一側(cè)底板均有螺紋、中間一層擋板，整體配有外框及上下兩層法蘭。尺寸精度高體現(xiàn)在長度、寬度及高度等主要尺寸公差均為0.76mm，相當(dāng)于一般石英方箱的1/3~1/4，垂直度和平行度等主要形位公差對于如此大尺寸的石英方箱也遠遠超過一般石英方箱。加工難度大體現(xiàn)在不僅整體組裝焊接困難、復(fù)雜，且每一單個的配件也有很大的加工難度。 我公司經(jīng)過長時間的研究試驗攻克了大尺寸多層石英方箱一系列關(guān)鍵環(huán)節(jié)的加工技術(shù)，實現(xiàn)了加工技術(shù)上的突破和創(chuàng)新。其中螺紋加工定位技術(shù)、45度斜孔加工定位技術(shù)、整體組裝一次成型焊接技術(shù)、焊接精度控制技術(shù)及焊接應(yīng)力控制技術(shù)等方面都極具特色。產(chǎn)品質(zhì)量居國內(nèi)領(lǐng)先并達到國際同類產(chǎn)品先進水平，螺紋加工技術(shù)實現(xiàn)國內(nèi)首創(chuàng)。