平行平晶：平行平晶是以光波干涉原理為基礎(chǔ)，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。平行平晶具有高精度的平面性和平行性。平行平晶共分四個(gè)系列，每個(gè)系列各分六組，每組四塊。用于檢定千分尺，杠桿千分尺，杠桿卡規(guī)和千分尺卡規(guī)等量具的測量面的不平度和兩相對測量面的不平行度：（單位：組/套）組一：15.62，15.75，15.87，16.00（精度0.6 m）組二：40.62，40.75，40.87，41.00（精度0.6 m）組三：65.62，65.75，65.87，66.00（精度0.8 m）組四：90.62，90.75，90.87，91.00（精度1.0 m）