日本新宇宙COSMOSXD-303(自動(dòng)吸引式)半導(dǎo)體特氣檢測儀簡介:--采用定電位電解式傳感器,對(duì)被測氣體具有選擇性--高檢測靈敏度、能檢測很多種類的半導(dǎo)體特氣--液晶數(shù)字顯示日本新宇宙COSMOSXD-303(自動(dòng)吸引式)半導(dǎo)體特氣檢測儀技術(shù)參數(shù):型號(hào)XD-303AHXD-303PHXD-303BHXD-303檢測對(duì)象氣體砷烷(ASH3)磷烷(PH3)乙硼烷(B2H6)其它檢測范圍0~1ppm0~0.2ppm0~1ppm0~0.3ppm0~1ppm因規(guī)格而異最小刻度0.1ppm0.01ppm0.1ppm0.01ppm0.1ppm 采樣方式自動(dòng)吸引式應(yīng)答速度60%應(yīng)答40秒