簡介MEMSIC器件是基于單片CMOS集成電路制造工藝而生產(chǎn)出來的一個完整的雙軸加速度測量系統(tǒng)就像其它加速度傳感器有重力塊一樣MEMSIC器件是以可移動的熱對流小氣團(tuán)作為重力塊器件通過測量由加速度引起的內(nèi)部溫度的變化來測量加速度MEMSIC傳感器中的質(zhì)量塊是氣體氣態(tài)的質(zhì)量塊同傳統(tǒng)的實(shí)體質(zhì)量塊相比具有很大的優(yōu)勢MEMSIC的器件不存在電容式傳感器所存在的粘連顆粒等問題同時能抵抗50000g的沖擊這使得MEMSIC器件的次品率和故障率很低通過測量溫度變化來確定加速度的裝置原理將在下面介紹一個被放置在硅芯片中央的熱源在一個空腔中產(chǎn)生一個懸浮的熱氣團(tuán)同時由鋁和多晶硅組成的熱電耦組被等距離對稱地放置在熱源的四個方向在未受到加速度或水平放置時溫度的下降陡度是以熱源為中心完全對稱的此時所有四個熱電耦組因感應(yīng)溫度而產(chǎn)生的電壓是相同的(見圖1)由于自由對流熱場的傳遞性任何方向的加速度都會擾亂熱場的輪廓從而導(dǎo)致其不對稱此時四個熱電耦組的輸出電壓會出現(xiàn)差異而這熱電耦組輸出電壓的差異是直接與所感應(yīng)的加速度成比例的在加速度傳感器內(nèi)部有兩條完全相同的加速度信號傳輸路徑一條是用于測量X軸上所感應(yīng)的加速度另一條則用于測量Y軸上所感應(yīng)的加速度