YK-CW-QT毫升小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出,通過通訊接口可實現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。產(chǎn)品特點:傳感器靈敏度高,有極小的始動流量傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高貼壁式安裝,無直管段要求,易于安裝與使用輸出方式靈活,既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232/I2C),也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓零點穩(wěn)定度高全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性低功耗、低壓損響應(yīng)速度快
機械尺寸: 技術(shù)參數(shù):CW-QT5001量程范圍0~20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制 sccm量程比 100:1 精度 (1.5 0.2FS)%重復(fù)性 0.75%零點輸出飄逸 30mV輸出飄逸0.16%/oc響應(yīng)時間100(默認(rèn),50,100,200,500,100設(shè)置)ms工作電源8~18Vdc,50mA 輸出方式RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc 最大流量壓損900Pa最大流量壓力0.8MPa工作溫度-5~+45oC存儲溫度-20~+55oC工作濕度 95%RH(無結(jié)冰、無凝露) 機械接口M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭(配轉(zhuǎn)接模塊) 校準(zhǔn)方式空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa 重量17.5g