產(chǎn)品簡介：FS1015系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類醫(yī)學(xué)用氣體的測(cè)量和過程控制而設(shè)計(jì)的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)。產(chǎn)品特點(diǎn)：專為呼吸機(jī)和麻醉機(jī)的流量計(jì)量需求而設(shè)計(jì)高靈敏度，應(yīng)用熱式質(zhì)量流量計(jì)原理可測(cè)量最低至8mm/sec的流體流量無旁通結(jié)構(gòu)，低壓損傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高經(jīng)消毒液殺菌處理后可重復(fù)使用自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程的開關(guān)設(shè)計(jì)提高了測(cè)量精度主機(jī)設(shè)備上的用戶界面可輕松實(shí)現(xiàn)線性輸出技術(shù)參數(shù)：產(chǎn)品FS1015CL單位流量范圍0~150SLPM精度 (1.5 0.1FS)%重復(fù)性 0.75%響應(yīng)時(shí)間10（Max.）msec工作電壓5 1%Vdc輸出方式線性，模擬電壓0.5~4.5Vdc最大壓損500Pa最大工作壓力0.2MPa工作溫度-10~55oC儲(chǔ)存溫度-20~65oC工作濕度 95(無結(jié)冰、無凝露)%RH