流量傳感器AWM40000系列（AWM43600）一、氣體質(zhì)量流量傳感器AWM40000系列簡介 AWM40000系列包括不帶放大和放大/信號處理的信號。AWM42150V和AWM42300，使用和AWM2000相同的電路。AWM43300V和AWM43600V使用和AWM3000相同的電路。AWM43600V為6SLPM器件。二、氣體質(zhì)量流量傳感器AWM40000系列主要特點(diǎn)：1）多個(gè)集中安裝，O形密封圈2）陶瓷流量管（無引氣管）：0-1000sccm3）塑料流量管（無引氣管）：0-6SLPM4）高共模壓力（150psi）5）工作溫度可至125℃6）零點(diǎn)和滿量程高穩(wěn)定性