特點(diǎn)用于對(duì)千分尺測(cè)量面的平行度和平面度進(jìn)行檢測(cè)每組包括4種厚度帶有配套的攜帶箱技術(shù)參數(shù)平面度：0.1um平行度：0.2um直徑：30mm借助于平行平晶產(chǎn)生的干涉條紋圖案可對(duì)測(cè)量表面的平行度進(jìn)行檢測(cè)通過下述方法可確定所測(cè)量表面間的平行度：在測(cè)砧上夾緊平行平晶，從心軸方向關(guān)擦在測(cè)力作用下產(chǎn)生的干涉條紋的數(shù)量當(dāng)平行平晶約為1um（0.32um 3=0.96um）時(shí)，從測(cè)砧邊緣關(guān)擦的條紋數(shù)一定不會(huì)超過一。