?前級泵抽速選擇:
排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時需要前
級泵來維持其前級壓力低于臨界值,選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走,根據(jù)管路中,各截
面流量恒等的原則有:
PnSg≥PgS 或 Sg≥Pgs/Pn
Sg-前級泵的有效抽速(l/s) Pn-主泵臨界前級壓強(最大排氣壓強)(l/s)
Pg-真空室最高工作壓強(托) S-主泵工作時在Pg時的有效抽速。(l/s)
14、擴散泵抽速計算公式:
S=Q/P=(K?n)/(P?t)(升/秒)
式中:S-被試泵的抽氣速率(l/s) n-滴管內油柱上升格數(shù)(格)
t-油柱上升n格所需要的時間(秒) P-在泵口附近測得的壓強(托)
K-滴管系數(shù)(托?升/秒) K=V0?(L/n)?(Υ0/Υm)+Pa△Vt
其中V0-滴管和真空膠管的原始容積(升) L-滴管刻度部分的長度(mm) n-滴管刻度部分的格數(shù)(格) Υ
0-油的比重(克/厘米3)
Υm-汞的比重(克/厘米3) Pa-當?shù)卮髿鈮簭?托)
△Vt-滴管的刻度上的一格的對應的容積(升/格)
15、旋片真空泵的幾何抽速計算公式:
S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)
式中:Z為旋片數(shù),n為轉速(轉/分),L為泵腔長度,D為泵腔直徑,d為轉子直徑(cm),Kv為容積利用系
數(shù)(一般取95%)。
16、O型橡膠槽深B=0.7D
D為橡膠直徑,槽寬C=1.6B
17、方形橡膠槽深B=0.8A
A為方形橡膠邊長,槽寬C=1.67B
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