技術(shù)指標(biāo)
型號(hào)
SFS-120XY(WA)
平臺(tái)尺寸
120x120mm
孔徑尺寸
50x50mm
驅(qū)動(dòng)裝置
壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)件
小位移傳感器
位移傳感器
行程
100±15%
分辨率(理論開環(huán))*
1nm
分辨率(閉環(huán))*
10nm
直線度:Xy,Xz,Yx,Yz
≤1μm
重復(fù)定位精度
≤0.1μm
承載能力
2kg
自重
1.2kg
*以上數(shù)據(jù)均為采用FINE-503控制器時(shí)的值